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中科飛測:國產化破局可期,市場空間大

1、中國飛測公司基本情況
·公司成立背景:公司2014年成立,由中科院微電子研究所背景團隊創立,成立約十年。成立后重點研發晶圓檢測設備,從無圖形晶圓檢測設備起步,逐步推出圖形晶圓檢測設備,初期多用于后道領域,后向前道領域突破。目前產品布局較全面,產品系列分八大類,覆蓋半導體量檢測設備的70%-80%,掩膜板檢測、X光檢測等小眾領域未完全覆蓋。
·股權結構分析:公司股權結構相對分散,最大單一股東為國投基金,有國資背景。實際控制人為陳魯與哈成書夫婦,通過蘇州易留明間接持股11.75%,并分別直接持股1.08%和5.21%,合計控制22.91%股權。第二大股東為公務機構,直接持股超5%。
·產品線覆蓋情況:公司產品集中于半導體領域,覆蓋圖形與無圖形檢測設備,產品分八大系列,涵蓋明場圖形、暗場圖形、無圖形等主流檢測類型,國內產品線覆蓋水平領先。
2、中國飛測財務表現分析
·營收增長情況:公司2022 2024年營收復合增速達64.6%,處于0到1的起步階段,基數小、增長快。2024年營收13.8億,2025年上半年營收7億,同比增50%。
·產品結構占比:公司產品主要分檢測設備、量測設備及服務類業務。2025年上半年,檢測設備占收入比重60%,量測設備占35%,其余為服務類業務。
·費用率與研發投入:公司除研發費用率較高外,其他費用率隨收入擴張下行。2025年上半年,研發投入2.85億,同比增37.8%,占營收41%。
·毛利率水平:2025年上半年,檢測設備毛利率62.2%,量測設備毛利率41%。因量檢測設備技術壁壘高,海外KLA占全球60%份額,國內設備定價參考海外,溢價能力強,毛利率高。
3、半導體量檢測行業背景
·行業分類解析:半導體量檢測行業分為檢測設備與量測設備兩類。檢測設備用于監測晶圓瑕疵,如灰塵、劃痕、線路連接錯誤等;量測設備側重度量關鍵尺寸,如晶圓布線線距、線寬及鍍膜厚度。檢測設備占全球市場約68%,量測設備占約31%。
·市場規模與地位:全球量檢測設備市場規模增長,2023年為128億美元,2024年達143億美元。其在前道設備中占比從2023年的約12%提升至2024年的近15%,是僅次于光刻、刻蝕、薄膜的第四大設備賽道,市場空間較大。
4、國內市場空間與國產化現狀
·國內市場規模測算:國內半導體檢測設備市場規模可通過兩種方法測算。第一種基于全球市場占比:全球市場規模約150億美元,中國大陸市場占40%的全球半導體市場規模比重,據此測算國內市場規模約為60億美元。第二種參照海外龍頭KLA的情況:KLA 2024年全球市場份額約57%,其2024財年面向中國大陸市場的銷售額約42億美元,通過42億美元除以57%推算,國內市場規模約為74億美元(約520億人民幣)。較大的市場規模結合高利潤率(毛利率60%、凈利率30%以上),對應國內市場利潤空間可達約155億人民幣。
·國產化率現狀:國內量檢測設備國產化率處于較低水平,僅高于光刻設備。以2024年確認收入口徑來看,國產化率約為4%。當前市場主要包括飛測、金測、瑞利等,多數公司收入僅千萬級,合計收入體量不足10億。與國內數百億的市場規模相比,國產化比例極低,未來替代空間巨大。
·競爭格局展望:參考海外龍頭KLA的發展歷程,其自1992年起通過一系列并購整合,形成了覆蓋全制程檢測領域的全面布局(如名廠39系列、29系列等產品)。國內市場未來可能誕生1 2家具備全品類布局的公司,因檢測設備需保證前后檢測一致性,產線若使用多家公司設備會增加問題排查難度。預計國內市場最終可能形成寡頭格局,一家公司份額顯著領先(如七三開)。
5、行業技術特點與投資價值
·技術特點解析:光學檢測與電子束檢測是主要檢測技術。光學檢測利用光反射/衍射識別晶圓問題,分明場和暗場:明場接收反射光成像,如“打開房間所有燈”,可呈現全貌;暗場接收衍射/散射光成像,如“昏暗房間打手電筒”,能突出異常點。其圖像模糊但速度快,市場占比81%,涵蓋明場、暗場及AOI技術。電子束檢測通過電子反射獲取信息,因電子波長極短,圖像精度高,但速度慢,難在產線批量應用,僅用于關鍵層。二者合計占市場95%以上,X光量測等屬小眾市場。
·國產化緊迫性:2025年,美系公司科磊在中國大陸收入面臨較大壓力,其服務可能被美國限制。國內先進制程晶圓廠采取“囤海外設備”與“緊急驗證國產設備”策略,因檢測設備對晶圓生產至關重要,若科磊等海外設備服務被切斷,必須依賴國內公司突破。量檢測設備國產化緊迫性高于光刻機。
·投資回報分析:量檢測賽道值得關注。2024年量檢測設備國產化率(收入確認角度)約4%,國內市場規模達數百億,但國內相關公司收入體量小(多數僅數千萬,總規模不足10億),處于起步階段,國產化空間大。國內公司進步快,部分一兩年內實現產品突破及驗收。市場市值空間約5000多億,占10%份額即可獲數百億市值回報。結合當前半導體設備行情向好,量檢測賽道訂單與市場空間表現突出。


1、中國飛測公司基本情況
·公司成立背景:公司2014年成立,由中科院微電子研究所背景團隊創立,成立約十年。成立后重點研發晶圓檢測設備,從無圖形晶圓檢測設備起步,逐步推出圖形晶圓檢測設備,初期多用于后道領域,后向前道領域突破。目前產品布局較全面,產品系列分八大類,覆蓋半導體量檢測設備的70%-80%,掩膜板檢測、X光檢測等小眾領域未完全覆蓋。
·股權結構分析:公司股權結構相對分散,最大單一股東為國投基金,有國資背景。實際控制人為陳魯與哈成書夫婦,通過蘇州易留明間接持股11.75%,并分別直接持股1.08%和5.21%,合計控制22.91%股權。第二大股東為公務機構,直接持股超5%。
·產品線覆蓋情況:公司產品集中于半導體領域,覆蓋圖形與無圖形檢測設備,產品分八大系列,涵蓋明場圖形、暗場圖形、無圖形等主流檢測類型,國內產品線覆蓋水平領先。
2、中國飛測財務表現分析
·營收增長情況:公司2022 2024年營收復合增速達64.6%,處于0到1的起步階段,基數小、增長快。2024年營收13.8億,2025年上半年營收7億,同比增50%。
·產品結構占比:公司產品主要分檢測設備、量測設備及服務類業務。2025年上半年,檢測設備占收入比重60%,量測設備占35%,其余為服務類業務。
·費用率與研發投入:公司除研發費用率較高外,其他費用率隨收入擴張下行。2025年上半年,研發投入2.85億,同比增37.8%,占營收41%。
·毛利率水平:2025年上半年,檢測設備毛利率62.2%,量測設備毛利率41%。因量檢測設備技術壁壘高,海外KLA占全球60%份額,國內設備定價參考海外,溢價能力強,毛利率高。
3、半導體量檢測行業背景
·行業分類解析:半導體量檢測行業分為檢測設備與量測設備兩類。檢測設備用于監測晶圓瑕疵,如灰塵、劃痕、線路連接錯誤等;量測設備側重度量關鍵尺寸,如晶圓布線線距、線寬及鍍膜厚度。檢測設備占全球市場約68%,量測設備占約31%。
·市場規模與地位:全球量檢測設備市場規模增長,2023年為128億美元,2024年達143億美元。其在前道設備中占比從2023年的約12%提升至2024年的近15%,是僅次于光刻、刻蝕、薄膜的第四大設備賽道,市場空間較大。
4、國內市場空間與國產化現狀
·國內市場規模測算:國內半導體檢測設備市場規模可通過兩種方法測算。第一種基于全球市場占比:全球市場規模約150億美元,中國大陸市場占40%的全球半導體市場規模比重,據此測算國內市場規模約為60億美元。第二種參照海外龍頭KLA的情況:KLA 2024年全球市場份額約57%,其2024財年面向中國大陸市場的銷售額約42億美元,通過42億美元除以57%推算,國內市場規模約為74億美元(約520億人民幣)。較大的市場規模結合高利潤率(毛利率60%、凈利率30%以上),對應國內市場利潤空間可達約155億人民幣。
·國產化率現狀:國內量檢測設備國產化率處于較低水平,僅高于光刻設備。以2024年確認收入口徑來看,國產化率約為4%。當前市場主要包括飛測、金測、瑞利等,多數公司收入僅千萬級,合計收入體量不足10億。與國內數百億的市場規模相比,國產化比例極低,未來替代空間巨大。
·競爭格局展望:參考海外龍頭KLA的發展歷程,其自1992年起通過一系列并購整合,形成了覆蓋全制程檢測領域的全面布局(如名廠39系列、29系列等產品)。國內市場未來可能誕生1 2家具備全品類布局的公司,因檢測設備需保證前后檢測一致性,產線若使用多家公司設備會增加問題排查難度。預計國內市場最終可能形成寡頭格局,一家公司份額顯著領先(如七三開)。
5、行業技術特點與投資價值
·技術特點解析:光學檢測與電子束檢測是主要檢測技術。光學檢測利用光反射/衍射識別晶圓問題,分明場和暗場:明場接收反射光成像,如“打開房間所有燈”,可呈現全貌;暗場接收衍射/散射光成像,如“昏暗房間打手電筒”,能突出異常點。其圖像模糊但速度快,市場占比81%,涵蓋明場、暗場及AOI技術。電子束檢測通過電子反射獲取信息,因電子波長極短,圖像精度高,但速度慢,難在產線批量應用,僅用于關鍵層。二者合計占市場95%以上,X光量測等屬小眾市場。
·國產化緊迫性:2025年,美系公司科磊在中國大陸收入面臨較大壓力,其服務可能被美國限制。國內先進制程晶圓廠采取“囤海外設備”與“緊急驗證國產設備”策略,因檢測設備對晶圓生產至關重要,若科磊等海外設備服務被切斷,必須依賴國內公司突破。量檢測設備國產化緊迫性高于光刻機。
·投資回報分析:量檢測賽道值得關注。2024年量檢測設備國產化率(收入確認角度)約4%,國內市場規模達數百億,但國內相關公司收入體量小(多數僅數千萬,總規模不足10億),處于起步階段,國產化空間大。國內公司進步快,部分一兩年內實現產品突破及驗收。市場市值空間約5000多億,占10%份額即可獲數百億市值回報。結合當前半導體設備行情向好,量檢測賽道訂單與市場空間表現突出。

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